濕度控(kong)制(zhi)是(shi)無(wu)塵(chen)車(che)間生(sheng)產(chan)必需具(ju)備的重要條件，相(xiang)對(dui)濕度是(shi)無(wu)塵(chen)車(che)間、潔凈(jing)室運作(zuo)過程(cheng)中壹(yi)個(ge)常用的環(huan)境(jing)控(kong)制(zhi)條件。半(ban)導(dao)體無塵(chen)車(che)間、潔凈(jing)室中的典型(xing)的相對濕度的目標(biao)值(zhi)大(da)約(yue)控(kong)制(zhi)在(zai)30至(zhi)50%的範圍內(nei)，允(yun)許(xu)誤(wu)差在±1%的狹(xia)窄(zhai)的範圍內(nei)，例(li)如光刻區(qu)或者在遠紫(zi)外(wai)線處(chu)理(li)(DUV)區(qu)甚至(zhi)更小(xiao)而(er)在其(qi)他地(di)方則(ze)可以放松到±5%的範圍內(nei)。

為(wei)了把(ba)無(wu)塵車(che)間溫濕度等要求(qiu)保持規定(ding)的範圍內(nei)，廠家需要(yao)支付資(zi)金(jin)來支持其(qi)運轉。為什麽要花這(zhe)麽多錢來(lai)控(kong)制(zhi)無(wu)塵(chen)車(che)間或潔凈(jing)室的相對濕度呢(ne)?原(yuan)因(yin)很簡單(dan)!因為相對濕度有(you)許(xu)多(duo)因素會(hui)影響(xiang)無(wu)塵(chen)車(che)間或潔凈(jing)室的整體性能(neng)，如相對濕度太大或太小(xiao)就(jiu)會(hui)出現(xian)以(yi)下現(xian)象(xiang):

1、細菌(jun)生(sheng)長；

2、在(zai)室(shi)內(nei)工(gong)作(zuo)人(ren)員(yuan)會(hui)感到不(bu)舒(shu)服(fu)；

3、出(chu)現(xian)靜(jing)電(dian)荷；

4、金(jin)屬腐(fu)蝕；

5、水汽(qi)冷凝；

6、光刻的退化；

7、材(cai)料出現(xian)吸濕現(xian)象(xiang)等。

細菌(jun)和(he)其(qi)他生(sheng)物汙染(ran)(黴菌(jun)，病(bing)毒，真菌(jun)，蟎(man)蟲(chong))在(zai)相對(dui)濕度超(chao)過(guo)60%的環(huan)境(jing)中可以活躍(yue)地繁殖(zhi)。在(zai)相(xiang)對(dui)濕度處(chu)於40%至(zhi)60%的範圍之間(jian)時(shi)，可以使(shi)細菌(jun)的影響以及(ji)呼吸道感染(ran)降(jiang)至(zhi)最(zui)低(di)。

高(gao)濕度實際上減(jian)小(xiao)了(le)無塵(chen)車(che)間、潔凈(jing)室表面的靜(jing)電(dian)荷積累──這(zhe)是(shi)大(da)家希(xi)望(wang)的結果(guo)。較(jiao)低的濕度比較(jiao)適(shi)合電(dian)荷的積累並(bing)成(cheng)為(wei)潛在的具(ju)有破(po)壞性的靜(jing)電(dian)釋放(fang)源。當(dang)相對(dui)濕度超(chao)過(guo)50%時，靜(jing)電(dian)荷開始迅速消(xiao)散，但(dan)是(shi)當(dang)相(xiang)對(dui)濕度小(xiao)於30%時，它(ta)們(men)可以在絕(jue)緣體(ti)或者未接地(di)的表面上(shang)持(chi)續(xu)存在(zai)很長壹(yi)段時(shi)間(jian)。

相(xiang)對濕度在(zai)35%到40%之(zhi)間(jian)可以作(zuo)為壹(yi)個(ge)令人(ren)滿意(yi)的折中，半導(dao)體無塵(chen)車(che)間、潔凈(jing)室壹(yi)般(ban)都(dou)使(shi)用(yong)額(e)外(wai)的控(kong)制(zhi)裝(zhuang)置以(yi)限(xian)制(zhi)靜(jing)電(dian)荷的積累。

很多化(hua)學反(fan)應的速度(du)，包(bao)括(kuo)腐(fu)蝕過(guo)程(cheng)，將隨著相對濕度的增(zeng)高(gao)而加(jia)快(kuai)。所(suo)有暴露(lu)在無塵(chen)車(che)間、潔凈(jing)室周圍(wei)空(kong)氣(qi)中(zhong)的表面都(dou)很快(kuai)地被覆(fu)蓋(gai)上至(zhi)少(shao)壹(yi)層(ceng)單(dan)分子(zi)層的水。當這(zhe)些表面是(shi)由(you)可以與水反(fan)應的薄金(jin)屬塗(tu)層組成(cheng)時(shi)，高(gao)濕度可以使(shi)反(fan)應加(jia)速。幸運的是(shi)，壹(yi)些金(jin)屬，例(li)如鋁(lv)，可以與水形成壹(yi)層(ceng)保護型(xing)的氧化物，並(bing)阻(zu)止進壹(yi)步(bu)的氧化反(fan)應；但(dan)另壹(yi)種(zhong)情況是(shi)，例(li)如(ru)氧化銅(tong)，是(shi)不(bu)具(ju)有保(bao)護能(neng)力(li)的，因此，在高(gao)濕度的環(huan)境(jing)中，銅(tong)制(zhi)表面更容(rong)易(yi)受到腐(fu)蝕。

在(zai)半導(dao)體無塵(chen)車(che)間、潔凈(jing)室中最(zui)迫切(qie)需要(yao)適(shi)當(dang)控(kong)制(zhi)的是(shi)光刻膠的敏感性。由(you)於光刻膠對相(xiang)對濕度極(ji)為(wei)敏(min)感(gan)的特(te)性，它(ta)對(dui)相對濕度的控(kong)制(zhi)範(fan)圍(wei)的要求(qiu)是(shi)最(zui)嚴格的水準。

總(zong)而言之(zhi)半(ban)導(dao)體無塵(chen)車(che)間、潔凈(jing)室中控(kong)制(zhi)相(xiang)對(dui)濕度不(bu)是(shi)隨意(yi)的。如今隨著科技(ji)的發展(zhan)，除(chu)濕設(she)備(bei)已廣泛(fan)應用於人(ren)們(men)的日(ri)常(chang)生(sheng)活、工(gong)業(ye)生(sheng)產(chan)、加(jia)工(gong)儲(chu)存中。

根據上述要求(qiu)，無塵車(che)間用轉輪(lun)除(chu)濕機(ji)會(hui)更好(hao)的控(kong)制(zhi)其(qi)室內(nei)的溫濕度要(yao)求(qiu)，特(te)別(bie)是(shi)在(zai)壹(yi)些制(zhi)藥、食(shi)品加(jia)工(gong)、電(dian)子(zi)加(jia)工(gong)中(zhong)對無塵車(che)間中的溫濕度要(yao)求(qiu)是(shi)非(fei)常(chang)的高(gao)，普(pu)通的除(chu)濕是(shi)無(wu)法(fa)達(da)到其(qi)要求(qiu)。而普(pu)瑞除(chu)濕設(she)備(bei)中的轉輪(lun)除(chu)濕機(ji)采(cai)用世界壹(yi)流的超級矽(gui)膠/負荷分子(zi)篩(shai)轉輪(lun)，可以用於要求(qiu)露(lu)點溫度(du)低(di)到-65℃除(chu)濕領域(yu)。

杭州(zhou)普(pu)瑞除(chu)濕設(she)備(bei)有限公(gong)司還(hai)具(ju)有小(xiao)型(xing)轉輪(lun)除(chu)濕機(ji)、單(dan)機(ji)轉輪(lun)除(chu)濕機(ji)、低(di)濕除(chu)濕機(ji)組、超(chao)低(di)濕除(chu)濕機(ji)組多(duo)種(zhong)轉輪(lun)除(chu)濕機(ji)可供選擇(ze)；還(hai)可專(zhuan)業(ye)定(ding)制(zhi)壹(yi)款只適(shi)用(yong)於您的轉輪(lun)除(chu)濕機(ji)。